一种热板加热装置及控制方法

摘要

本发明涉及显示技术领域，公开一种热板加热装置及控制方法，热板加热装置包括腔体，腔体内至少包括一个加热腔室，加热腔室内包括一基板支撑面，其特征在于，每一个加热腔室中，底壁朝向顶壁的一面形成基板支撑面，且沿垂直于基板支撑面的方向，加热腔室的顶壁和底壁上均设有加热装置，在上述加热装置中，基板放置在基板支撑面上，在对加热腔室进行加热时，顶壁和底壁上的加热装置同时进行加热，一方面能够提高加热效果，使得基板上光刻胶中的物质较快挥发，另一方面能够保证腔体内的温度均匀，挥发的气体在腔体的顶壁上不会遇冷凝结，达到更好的自洁效果，能够减少对基板造成二次污染，能够提高产品良率。

主权项

一种热板加热装置，包括腔体，所述腔体内至少包括一个加热腔室，所述加热腔室内包括一基板支撑面，其特征在于，每一个所述加热腔室中，底壁朝向顶壁的一面形成所述基板支撑面，且沿垂直于所述基板支撑面的方向，所述加热腔室的顶壁和底壁上均设有加热装置。