Photopolymerizable composition for nanoimprint and method of preparing nanopatterned film using the same

摘要

본 발명은 실록산과 포스포러스를 기반으로 말단에 작용기로 아크릴레이트를 도입하여 광경화가 가능하도록 한 나노임프린트용 광중합성 조성물 및 이를 이용한 미세패턴 박막의 제조방법에 관한 것으로, 본 발명에 따른 나노임프린트용 광중합성 조성물은 몰드와의 이형성, 경화성, 에칭 저항성, 패턴 전사성, 기판과의 밀착성, 내화학성, 내구성, 투과성 등이 우수하므로 미세패턴 박막의 제조에 유용하게 사용될 수 있다.