合成石英玻璃衬底及其制备方法

摘要

本发明涉及一种合成石英玻璃衬底及其制备方法。该衬底具有包括132mm²表面区域的6平方英寸的表面。132mm²的表面区域具有最多50nm的平整度。通过从148mm²表面区域减去132mm²表面区域得到的框架区域具有最多150nm的平整度。

主权项

一种合成石英玻璃衬底，具有152mm×152mm的主表面，该主表面包括148mm×148mm的中央表面区域，该148mm×148mm的中央表面区域包括132mm×132mm的中央表面区域(A)，从132mm×132mm中央表面区域(A)周边延伸至主表面周边的表面区域是倾斜的，其中132mm×132mm的中央表面区域(A)具有最多50nm的平整度，除132mm×132mm中央表面区域(A)外的148mm×148mm中央表面区域的框架区域(B)具有最多150nm的平整度，其中132mm×132mm的中央表面区域(A)具有平均的平面，框架区域(B)具有平均的平面，132mm×132mm中央表面区域(A)的平均的平面比框架区域(B)的平均的平面高100nm或更少且至少50nm，对衬底的后表面进行设计，使得142mm×142mm的中央表面区域在抽吸卡紧时具有至多500nm的平整度。