基板载置台的温度控制系统及其温度控制方法

摘要

本发明提供一种能够使基板的温度快速上升、并且能够减少热能的损失的基板载置台的温度控制系统。基座的制冷剂循环系统包括制冷剂供给装置、高温介质储存罐和第一阀组，该基座内置有加热器单元和热介质流路、且载置被实施等离子蚀刻处理的晶圆，上述制冷剂供给装置与热介质流路相连接而将温度比较低的制冷剂供给到热介质流路中，上述高温介质储存罐配置在热介质流路与制冷剂供给装置之间且用于储存温度比较高的高温介质，上述第一阀组配置在制冷剂供给装置与热介质流路之间、以及高温介质储存罐与热介质流路之间，在使基座的温度上升时，利用该第一阀组停止自制冷剂供给装置向热介质流路供给制冷剂、且自高温介质储存罐向热介质流路供给高温介质。

主权项

一种基板载置台的温度控制系统，该基板载置台用于载置被实施规定处理的基板且内置有加热单元和热介质流路，其特征在于，该温度控制系统包括：第一配管，其在实施规定处理的腔室的外部与上述热介质流路的入口相连接；第二配管，其在上述腔室的外部与上述热介质流路的出口相连接；热介质供给装置，其与上述第一配管和上述第二配管相连接，并且用于将第一温度的第一热介质经由上述第一配管供给到上述热介质流路中；第一热介质储存装置，其与自上述第一配管分支形成的第一支管相连接，并且用于储存温度比上述第一温度高的第二温度的第二热介质；第二热介质储存装置，其与自上述第二配管分支形成的第二支管相连接，并且用于储存上述第二热介质；以及热介质供给控制装置，其用于在上述加热单元发热时，停止自上述热介质供给装置向上述热介质流路供给上述第一热介质、且向上述热介质流路供给上述第二热介质，上述热介质供给控制装置包括：第一阀组，其配置在上述热介质供给装置与上述热介质流路的入口之间、以及上述第一热介质储存装置与上述热介质流路的入口之间的上述第一配管上；以及第二阀组，其配置在上述热介质供给装置与上述热介质流路的出口之间、以及上述第二热介质储存装置与上述热介质流路的出口之间的上述第二配管上，其中，上述第一阀组包括配置在上述第一配管上的第一配管阀和配置在上述第一支管上的第一支管阀，并且上述第二阀组包括配置在上述第二配管上的第二配管阀和配置在上述第二支管上的第二支管阀，上述第一阀组和上述第二阀组用于使上述第二热介质沿着上述第一热介质储存装置和上述第二热介质储存装置之间的上述热介质流路的方向交替改变，以及上述热介质供给控制装置用于在上述加热单元发热时，将上述第二热介质自上述第一热介质储存装置经由上述热介质流路供给到上述第二热介质储存装置中，在上述加热单元下一次发热时，将上述第二热介质自上述第二热介质储存装置经由上述热介质流路供给到上述第一热介质储存装置中。