转印装置以及转印方法

摘要

本发明提供一种能够连续且高效地进行从担载体向转印介质转印被转印物以及使转印之后的担载体和转印介质剥离的转印装置以及转印方法。通过能够彼此独立升降的多个手对支撑用于担载图案的橡皮布。要被转印图案的基板吸附保持在上载物台的下表面上。一边通过转印辊推起橡皮布来使其与基板抵接，一边使转印辊在Y方向移动。在转印辊的前方侧（移动方向上的下游侧），随着转印辊的接近，手对依次下降，从而避免与转印辊发生干涉。在转印辊的后方侧（移动方向上的上游侧），手对在再次抵接于橡皮布之后，一边吸附保持橡皮布一边下降，从而使橡皮布与基板剥离。

主权项

一种转印装置，其特征在于，具有：担载体保持单元，其具有多个保持部，多个所述保持部分别抵接于平板状的担载体的与担载面相反的另一面上，来保持所述担载体，在所述担载体的所述担载面上担载有被转印物，保持部驱动机构，其使多个所述保持部分别独立地向与所述另一面接近的方向以及从所述另一面离开的方向移动，转印介质保持单元，其保持具有要被转印所述被转印物的转印面的转印介质，并且使所述转印面与所述担载面接近并相向，辊构件，其呈辊状并将与所述担载面平行的第一方向作为轴向，通过与所述另一面相抵接来使所述担载体局部地向所述转印介质侧发生变位，从而一边使所述被转印物抵接于所述转印面，一边在与所述担载面平行且与所述第一方向相垂直的第二方向移动；多个所述保持部沿着所述第二方向排列，在多个所述保持部上分别设置有用于吸附所述另一面的吸附部，随着所述辊构件的移动，各所述保持部依次从所述担载体离开并移动至不与所述辊构件发生干涉的退避位置，在所述辊构件通过所述保持部之后，所述保持部再次抵接于所述担载体的所述另一面，一边通过所述吸附部吸附所述担载体，一边向从所述担载体离开的方向移动。