一种可测量法向和切向力的柔性力传感器

摘要

本发明提供一种可测量法向和切向力的柔性力传感器，包括柔性力敏感单元以及与其电连接的检测电路单元，所述柔性力敏感单元由上柔性电极板层、下柔性电极板层以及位于所述上柔性电极板层与下柔性电极板层之间的柔性支架层组成；所述柔性支架层由带有空隙的柔性支撑体以及位于所述柔性支撑体空隙中的填充气体组成。本发明的柔性力传感器采用柔性支架层替代传统的实心介电层，有效提高了传感器受力时的电容变化值，显著改善了力测量灵敏度。

主权项

一种可测量法向和切向力的柔性力传感器，包括柔性力敏感单元以及与其电连接的检测电路单元，其特征在于：所述柔性力敏感单元由上柔性电极板层、下柔性电极板层以及位于所述上柔性电极板层与下柔性电极板层之间的柔性支架层组成；所述柔性支架层由带有空隙的柔性支撑体以及位于所述柔性支撑体空隙中的填充气体组成。