加速度传感器

摘要

本发明提供一种加速度传感器，其有助于装置的小型化、提高形状的自由度，并且实现加速度的检测精度的提高。第一传感器（21）构成为两轴加速度传感器，该两轴加速度传感器是，弹簧（43）根据Y、Z方向的加速度进行伸缩，通过使弹簧（43）具有相对于X方向的加速度的刚性并且限制其进行伸缩，从而通过根据加速度变动的锤部（24）与第一至第三固定电极（28、29）之间的电容的变化来检测Y、Z方向的加速度。加速度传感器构成为第二传感器与第一传感器（21）具有相同的结构、通过第二传感器来检测X、Z方向的加速度的三轴加速度传感器。

主权项

一种加速度传感器，其特征在于，具有：基板；第一弹性部件，其一端固定在所述基板上，并且相对于沿所述基板的第一方向和与所述基板正交的第三方向的这两个方向的加速度进行挠动；第二弹性部件，其一端固定在所述基板上，并且相对于与沿所述基板的所述第一方向正交的第二方向和所述第三方向的这两个方向的加速度进行挠动；多个锤部，其分别与所述第一和第二弹性部件的另一端连接，并且从所述基板游离且能够摆动地被所述第一和第二弹性部件支撑；第一至第三传感器部，其根据所述锤部的摆动检测所述第一至第三方向的各加速度，所述第一至第三传感器部分别具有电容部，所述电容部具有设在所述基板上的固定电极和设在所述锤部上的可动电极，所述第一传感器部的所述电容部具有的所述固定电极和所述可动电极形成为沿所述第二方向的平板状，所述第二传感器部的所述电容部具有的所述固定电极和所述可动电极形成为沿所述第一方向的平板状，所述第三传感器部的所述电容部具有的所述固定电极和所述可动电极形成为沿所述基板的平板状，所述第一弹性部件是沿所述第一方向的第一边与沿所述第二方向的第二边交错相连、沿所述第二方向蛇行延伸的弹簧，并且连接所述第一弹性部件的两端的距离比所述第一边的长度长，所述第二弹性部件是沿所述第一方向的第一边与沿所述第二方向的第二边交错相连、沿所述第一方向蛇行延伸的弹簧，并且连接所述第二弹性部件的两端的距离比所述第二边的长度长。