一种三自由度直线位移检测方法

摘要

本发明是一种三自由度直线位移检测方法。本发明的技术方案：在一块绝缘基板上有四个矩形传感电极；在另一块绝缘基板上有一长宽比与传感电极相同，但面积小于传感电极的发射电极；将传感电极绝缘基板固定在参照物上并保持传感电极的长宽方向与待检测三自由度位移中两个自由度的位移方向相一致；将发射电极绝缘基板与运动对象固定并保持发射电极的长宽方向与传感电极长宽方向平行、发射电极绝缘基板与传感电极绝缘基板间的间隙均匀；将一幅值、频率固定的正弦交流信号源连接至发射电极，将四个传感电极分别连接至四路信号处理电路以提取各自输出信号的幅值，通过判断四路信号处理电路输出值的相对关系可检测目标物体沿传感电极长、宽方向的位移。

主权项

一种三自由度直线位移检测方法，其特征在于：在一块绝缘基板上有四个矩形传感电极；在另一块绝缘基板上有一长宽比与传感电极相同，但面积小于传感电极的发射电极；将传感电极绝缘基板固定在参照物上并保持传感电极的长宽方向与待检测三自由度位移中两个自由度的位移方向相一致；将发射电极绝缘基板与运动对象固定并保持发射电极的长宽方向与传感电极长宽方向平行、发射电极绝缘基板与传感电极绝缘基板间的间隙均匀；将一幅值、频率固定的正弦交流信号源连接至发射电极，将四个传感电极分别连接至四路信号处理电路以提取各自输出信号的幅值；进行三自由度直线位移检测时，运动对象带动发射电极沿传感电极长、宽边方向及与传感电极面垂直的方向作三自由度平移运动，导致发射电极与四个传感电极重叠区域的面积及间距产生变化，进而使得四个传感电极输出信号的幅值发生相应变化，进而通过判断四路信号处理电路输出值之和的大小可检测目标物体沿传感电极面垂直方向的位移，通过判断四路信号处理电路输出值的相对关系可检测目标物体沿传感电极长、宽方向的位移。