多晶硅料的筛选及装填坩埚的方法

摘要

本发明提供了一种多晶硅料的筛选及装填坩埚的方法，其特征在于利用振动筛对多晶硅料进行多层筛选，按照规格尺寸将筛选出来的多晶硅料直接加到石英坩埚中，实现原位填装石英坩埚，减少操作时间，提高工作效率，并能精确控制多晶硅料尺寸范围，提高坩埚的填充密度，减少晶体生长中因为存在气体、针孔对晶锭质量的影响，提高晶锭的质量。另外，可避免人工装料带来的污染从而影响晶锭质量。

主权项

一种多晶硅料的筛选及装填坩埚的方法，包括：利用振动筛将多晶硅料进行多层筛选，按照规格尺寸将筛选出来的多晶硅料直接加到石英坩埚中，实现原位填装坩埚，减少操作时间，提高筛料精度和坩埚的填充密度，减少晶体中气体、针孔等缺陷对晶体质量的影响，还能避免人工筛料、装填坩埚等引入的污染，提高晶体的质量。