| 主权项 |
非晶态金属氧化物半导体层形成用前体组合物，其特征在于，包含金属盐、第一酰胺、以水为主体的溶剂，所述金属盐包含In和Zn，所述第一酰胺为选自乙酰胺、乙酰脲、丙烯酰胺、己二酰二胺、乙醛缩氨基脲、偶氮二甲酰胺、4‑氨基‑2,3,5,6‑四氟苯甲酰胺、β‑丙氨酰胺盐酸盐、L‑丙氨酰胺盐酸盐、苯甲酰胺、苄基脲、联二脲、缩二脲、丁酰胺、3‑溴丙酰胺、丁基脲、3,5‑双(三氟甲基)苯甲酰胺、氨基甲酸叔丁酯、己酰胺、氨基甲酸铵、氨基甲酸乙酯、2‑氯乙酰胺、2‑氯乙基脲、丁烯酰胺、2‑氰基乙酰胺、氨基甲酸丁酯、氨基甲酸异丙酯、氨基甲酸甲酯、氰基乙酰脲、环丙酰胺、环己基脲、2,2‑二氯乙酰胺、磷酸脒基脲、硫酸脒基脲、1,1‑二甲基脲、2,2‑二甲氧基丙酰胺、乙基脲、氟乙酰胺、甲酰胺、富马酰胺、甘氨酰胺盐酸盐、羟基脲、海因酸、2‑羟基乙基脲、七氟丁酰胺、2‑羟基异丁酰胺、异丁酰胺、乳酰胺、马来酰胺、丙二酰胺、1‑甲基脲、硝基脲、草氨酸、草氨酸乙酯、草酰胺、草氨酰肼、草氨酸丁酯、苯基脲、邻苯二甲酰胺、丙酰胺、新戊酰胺、五氟苯甲酰胺、五氟丙酰胺、氨基脲盐酸盐、琥珀酰胺、三氯乙酰胺、三氟乙酰胺、硝酸脲、尿素、戊酰胺的至少一种。 |
