多束光合成聚焦装置

摘要

本发明提供一种多束光合成聚焦装置，包括聚焦组件和至少一多束光合成组件；多束光合成组件用于将多束不同方向入射光进行合成；包括至少两激光器、与激光器数量等同的光纤及准直器和一偏转总成；每根光纤均与一激光器连接，每个准直器均与一光纤连接；偏转总成包括至少一用于改变经由准直器出射的光束方向的反射镜；聚焦组件用于将平行光束进行汇聚；包括镜架和设在镜架内的聚焦透镜。本发明能将多束不同方向的光合成为夹角在0～30度之间的多束平行光，最终经一聚焦透镜后汇聚，可在辊面上同时或分时产生微坑组，增加单位时间内的毛化区域，进而可提高激光毛化加工速度，便于规则和无规则分布参数设定；毛化辊面不易产生条纹。

主权项

一种多束光合成聚焦装置，其特征在于，包括：多束光合成组件，用于将两束以上不同方向的入射光进行合成，合成后的光束之间的夹角在0～30度之间；聚焦组件，用于将所述多束光合成组件合成后的光束进行汇聚；所述聚焦组件包括镜架和设置在所述镜架内的聚焦透镜；所述多束光合成组件包括一个第一多束光合成组件和至少一个第二多束光合成组件；所述第一多束光合成组件为三束光合成组件，该三束光合成组件用于将三束不同方向的入射光进行合成，其中一束入射光经过聚焦透镜中心，为中心入射光束，另外两束入射光与所述中心入射光束均垂直，为两第一垂直入射光束；该三束光合成组件包括三台第一激光器、三根第一光纤、三个第一准直器和一个第一偏转总成；所述第一激光器与第一准直器之间均通过第一光纤连接；其中一所述第一激光器位于中间为中间激光器，与所述中间激光器连接的所述第一准直器为中间准直器，另外两所述第一激光器位于所述中间激光器两侧为第一侧边激光器，与所述第一侧边激光器连接的所述第一准直器为第一侧边准直器；所述第一偏转总成包括两个用于改变经由所述第一侧边准直器出射的垂直入射光束方向的第一反射镜；所述中心入射光束和所述两第一垂直入射光束经所述聚焦透镜后在焦平面上形成的光斑位于同一直线上；所述第二多束光合成组件为两束光合成组件，该两束光合成组件用于将两束不同方向的入射光进行合成，其中两束入射光与所述中心入射光束均垂直，为两第二垂直入射光束；该两束光合成组件包括两台第二激光器、两根第二光纤、两个第二准直器和一个第二偏转总成；所述第二激光器与第二准直器之间均通过第二光纤连接；其中两所述第二激光器位于两侧为第二侧边激光器，与所述第二侧边激光器连接的所述第二准直器为第二侧边准直器；所述第二偏转总成包括两个用于改变经由所述第二侧边准直器出射的垂直入射光束方向的第二反射镜；所述两束光合成组件的两第二侧边准直器位于所述三束光合成组件的中间准直器的两侧，且所述两束光合成组件的两第二侧边准直器之间的连线与所述三束光合成组件的两第一侧边准直器之间的连线呈一夹角，该夹角在0～180度之间；所有的所述两束光合成组件与所述三束光合成组件中的中间激光器及中间准直器均能形成三束光合成组件，且所述两束光合成组件中的两第二垂直入射光束与所述三束光合成组件中的中心入射光束经聚焦透镜后在焦平面上形成的光斑均位于同一直线上。