瞬间真空提供装置

摘要

本发明公开了一种瞬间真空提供装置，其包括：至少一腔室，其与抽真空对象的腔体连通，该腔室与腔体之间还设置有启闭单元；真空泵，其通过管路连接腔室；真空度测量部和真空度调节部，其分别设置于管路、腔室和/或腔体上；处理控制部，其电连接真空度测量部和真空度调节部，真空度测量部实时测量腔室内的真空度并反馈到处理控制部，处理控制部将实时测量的真空度与所需要的真空度进行对比，不符合时控制真空度调节部将腔室内的真空度调节到所需要的真空度。本发明与现有技术相比，可以在低成本和高效率的前提下为需要真空环境的腔体获得瞬间的真空环境，同时对于真空度的控制也更为精确。

主权项

瞬间真空提供装置，其特征在于，包括：至少一腔室，其与抽真空对象的腔体连通，所述腔室与所述腔体之间还设置有启闭单元；真空泵，其通过管路连接所述腔室；真空度测量部，其设置于所述管路、所述腔室和/或所述腔体上，用于测量所述腔室内的真空度；真空度调节部，其设置于所述管路、所述腔室和/或所述腔体上，用于调节所述腔室内的真空度；处理控制部，其电连接所述真空度测量部和所述真空度调节部，所述真空度测量部实时测量所述腔室内的真空度并反馈到所述处理控制部，所述处理控制部将实时测量的真空度与所需要的真空度进行对比，不符合时控制所述真空度调节部将所述腔室内的真空度调节到所需要的真空度。