低毒曼尼希碱化合物、由其制备的酸化缓蚀剂及其制备方法

摘要

本发明涉及一种用于制备酸化缓蚀剂的曼尼希碱化合物，该化合物的分子式为还涉及一种利用所述的曼尼希碱化合物制备的曼尼希酸化缓蚀剂；进一步涉及一种曼尼希酸化缓蚀剂与卤素离子增效剂复配形成的曼尼希增效酸化缓蚀剂；另涉及一种曼尼希酸化缓蚀剂的制备方法，将以上所述曼尼希酸化缓蚀主剂、有机溶剂、表面活性剂、缓蚀助剂与溶剂复配得到曼尼希酸化缓蚀剂的配方；进一步涉及一种利用以上所述的方法制备曼尼希增效酸化缓蚀剂的方法；本发明解决了现有技术中缓蚀剂产品污染严重、成本较高、性能不稳定的问题。

主权项

一种曼尼希增效酸化缓蚀剂，其特征在于：所述曼尼希增效酸化缓蚀剂包括曼尼希缓蚀主剂、有机溶剂、表面活性剂、缓蚀助剂、水和卤素离子；所述曼尼希缓蚀主剂结构为质量分数为5～10％；所述的有机溶剂是甲醇、无水乙醇、异丙醇、丙酮或N,N‑二甲基甲酰胺中的一种或多种的混合溶剂，质量分数为40～45％；所述的表面活性剂为烷基酚聚氧乙烯醚或烷基醇聚氧乙烯醚，质量分数为3～10％；所述的缓蚀助剂为丙炔醇或三乙醇胺中的一种，质量分数为0～6％；所述水的质量分数为35％～45％；所述的卤素离子为氯、溴或碘中的一种，质量分数为3％。