室温下的玻璃到玻璃、玻璃到塑料以及玻璃到陶瓷/半导体的结合

摘要

一种用于进行室温衬底结合的方法采用了选择基本上可透过激光波长的一个第一衬底。接着选择了用于在一个界面处与该第一衬底相配合的一个第二衬底。在该界面处产生了透射率变化并且该第一衬底和第二衬底在该界面处相配合。接着基本上集中在该界面处用具有该透过波长的激光照射该第一衬底，并且在该界面处由该激光所供应的能量产生了一个局部高温。通过跨过该界面的扩散作用在紧邻该界面处软化该第一衬底和该第二衬底以便熔化这些衬底。

主权项

一种用于进行室温衬底结合的方法，该方法包括：选择可透过一个激光波长的一个第一衬底；选择在一个界面处与该第一衬底相配合的一个第二衬底，其中该第一衬底和该第二衬底中的至少一个是玻璃；在该界面处该第一衬底或第二衬底的表面的至少一部分上沉积一个阻挡性吸热涂层；使该第一衬底和该第二衬底相配合；用具有该激光波长的激光照射该第一衬底；在该界面处由该激光所供应的能量产生一个局部高温，由该阻挡性吸热涂层和高温产生一种等离子体；在紧邻该界面处软化该第一衬底和该第二衬底且使该等离子体扩散进入该第一衬底和该第二衬底中，以便使这些衬底熔化。