一种等离子刻蚀设备的基片定位升降装置

摘要

等离子刻蚀设备的基片定位升降装置，包括固定于反应腔体的下电极，设置于下电极上的基片卡盘，承接片盘的顶针升降机构和使基片精确定位的压环升降机构；压环升降机构包括底座，活动板，压紧环和连接活动板与压紧环的升降杆，以及带动活动板升降的压环升降驱动装置；升降杆与导向其升降的导向机构连接，压环升降驱动装置固定于底座上；压环升降驱动装置使压紧环将基片压紧于基片卡盘上；顶针升降机构包括托持基片的顶针，与顶针下端固定连接的基座和顶针升降驱动装置，顶针升降驱动装置固定于下电极上，顶针升降驱动装置的输出轴与基座固定连接，顶针穿出所述的下电极。本发明具有能够实现基片的精确定位的优点。

主权项

等离子刻蚀设备的基片定位升降装置，其特征在于：包括固定于反应腔体的下电极，设置于下电极上的基片卡盘，承接片盘的顶针升降机构和使基片精确定位的压环升降机构；压环升降机构包括底座，活动板，压紧环和连接活动板与压紧环的升降杆，以及带动活动板升降的压环升降驱动装置；升降杆与导向其升降的导向机构连接，压环升降驱动装置固定于底座上；压环升降驱动装置使压紧环将基片压紧于基片卡盘上；顶针升降机构包括托持基片的顶针，与顶针下端固定连接的基座和顶针升降驱动装置，顶针升降驱动装置固定于下电极上，顶针升降驱动装置的输出轴与基座固定连接，顶针穿出所述的下电极；所述的导向机构包括与底座固定连接的导向板，导向板、活动板和底座依次从上到下设置，升降杆穿过所述的导向板，导向板上设有与升降杆配合的导向法兰。