发明名称 |
检测硫酸、磷酸化学抛光液中硫酸、磷酸浓度的方法 |
摘要 |
一种检测硫酸、磷酸化学抛光液中硫酸、磷酸浓度的方法,属于溶液检测方法技术领域。包括如下步骤:取a ml化学抛光槽液与纯净水按固定比例进行定容,比例值b为20;取少量定容溶液,分为等体积的两份,通过仪器不断加入1mol/L氢氧化钠溶液进行酸碱中和反应,检测消耗的氢氧化钠体积;其中,对第一份溶液进行检测,得到V<sub>1</sub>,V<sub>1</sub>是第一个化学计量点:PH=4.7时消耗的氢氧化钠的体积;同理,得到第二份溶液的V<sub>2</sub>,V<sub>2</sub>是第二个化学计量点:PH=9.7时消耗的氢氧化钠的体积;根据公式分别计算化学抛光液中硫酸、磷酸的质量。本发明可精确控制化学抛光液中磷酸和硫酸的浓度,减小槽液更换周期,降低成本。 |
申请公布号 |
CN105891409A |
申请公布日期 |
2016.08.24 |
申请号 |
CN201610356640.5 |
申请日期 |
2016.05.26 |
申请人 |
沈阳富创精密设备有限公司 |
发明人 |
柯沂妤;郑广文 |
分类号 |
G01N31/16(2006.01)I |
主分类号 |
G01N31/16(2006.01)I |
代理机构 |
沈阳优普达知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 21234 |
代理人 |
吕敏 |
主权项 |
一种检测硫酸、磷酸化学抛光液中硫酸、磷酸浓度的方法,其特征在于:包括如下步骤:(1)、取aml化学抛光槽液与纯净水按固定比例进行定容,比例值b为20;(2)、取少量步骤(1)得到定容溶液,分为等体积的两份,通过仪器不断加入1mol/L氢氧化钠溶液进行酸碱中和反应,检测消耗的氢氧化钠体积;其中,对第一份溶液进行检测,得到V<sub>1</sub>,V<sub>1</sub>是第一个化学计量点:PH=4.7时消耗的氢氧化钠的体积;同理,得到第二份溶液的V<sub>2</sub>,V<sub>2</sub>是第二个化学计量点:PH=9.7时消耗的氢氧化钠的体积;(3)、根据公式分别计算化学抛光液中硫酸、磷酸的质量:m<sub>H3PO4</sub>=(V<sub>2</sub>‑V<sub>1</sub>)*C<sub>NaOH</sub>*98*b,C<sub>H3PO4</sub>=m<sub>H3PO4</sub>/V;C<sub>H2SO4</sub>=(2V<sub>1</sub>—V<sub>2</sub>)*98*C<sub>NaOH</sub>其中,m<sub>H3PO4</sub>为磷酸质量,单位为g;V<sub>1</sub>和V<sub>2</sub>分别为第一和第二化学计量点消耗氢氧化钠的体积,其单位为L;C<sub>NaOH</sub>为消耗的氢氧化钠的摩尔浓度,单位为mol/L;b为定容比例;C<sub>H3PO4</sub>为检测的磷酸浓度,单位为g/L;V为定容后等体积溶液的体积;C<sub>H2SO4</sub>为检测的硫酸的浓度,单位g/L。 |
地址 |
110168 辽宁省沈阳市浑南新区飞云路18甲-1号 |