发明名称 |
一种环境传感器、集成装置 |
摘要 |
本实用新型公开了一种环境传感器、集成装置,包括衬底,在所述衬底上设置有至少一个电阻器,在所述衬底的上方还设置有覆盖所述电阻器的第一绝缘层;还包括形成在所述第一绝缘层上的导电图案,在所述导电图案的上方设置有连接在导电图案中的环境敏感材料层。本实用新型的一种环境传感器,其结构简单,在敏感材料层的下方设置了电阻器结构,该电阻器通电后,其产生的热量可以通过氧化层传递至敏感材料层上,从而可以对敏感材料层进行加热除湿,或者是来调节环境传感器的工作温度,这不但提高了环境传感器的灵敏度,还提高了环境传感器的应用领域。 |
申请公布号 |
CN205508820U |
申请公布日期 |
2016.08.24 |
申请号 |
CN201620142993.0 |
申请日期 |
2016.02.25 |
申请人 |
歌尔声学股份有限公司 |
发明人 |
张俊德 |
分类号 |
H01L27/08(2006.01)I;H01L21/822(2006.01)I |
主分类号 |
H01L27/08(2006.01)I |
代理机构 |
北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙) 11442 |
代理人 |
王昭智;马佑平 |
主权项 |
一种环境传感器,其特征在于:包括衬底(1),在所述衬底(1)上设置有至少一个电阻器,在所述衬底(1)的上方还设置有覆盖所述电阻器的第一绝缘层(3);还包括形成在所述第一绝缘层(3)上的导电图案(6),在所述导电图案(6)的上方设置有连接在导电图案(6)中的环境敏感材料层(8)。 |
地址 |
261031 山东省潍坊市高新技术开发区东方路268号 |