| 发明名称 | 一种长焦深光子筛 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种长焦深光子筛，实现光子筛较长焦深的方法。该光子筛包括透光衬底和镀在该透光衬底上的不透光金属薄膜，所述不透光金属薄膜上分布有多个透光圆孔，该透光圆孔呈环带状分布，分布原则为r<sub>n</sub><sup>2</sup>＝2nf<sub>n</sub>λ+n<sup>2</sup>λ<sup>2</sup>，其中r<sub>n</sub>为环带半径，n为圆孔所在环带的环数，最内环为第一环，n∈{1，2，…，Max}，Max为最大环带数；f<sub>n</sub>为第n环所对应的焦距；λ为波长。其中对应r<sub>n</sub>上的透光孔的直径为<img file="DDA0000572969410000011.GIF" wi="526" he="89" />其中d<sub>n</sub>为透光孔的直径；w<sub>n</sub>为环带宽度；λ为波长；f<sub>n</sub>为第n环所对应的焦距；r<sub>n</sub>为环带半径。本发明突破原有固定焦点设计的思想，在不影响分辨力的情况下，采用光子筛环形分区设计，实现多焦点部分重叠，有效增大焦深，为光子筛直写光刻的实用化奠定基础。 | ||
| 申请公布号 | CN104199136B | 申请公布日期 | 2016.08.24 |
| 申请号 | CN201410479804.4 | 申请日期 | 2014.09.18 |
| 申请人 | 中国科学院光电技术研究所 | 发明人 | 严伟;何渝;李艳丽;唐燕;高洪涛;胡松 |
| 分类号 | G02B5/18(2006.01)I | 主分类号 | G02B5/18(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 | 代理人 | 杨学明;顾炜 |
| 主权项 | 一种长焦深光子筛，其特征在于：所述的光子筛为透明的玻璃基底，在该透明的玻璃基底上镀不透光金属薄膜，在不透光金属薄膜上内部有多个透光小圆孔，该透光小圆孔呈环带状分布；该透光圆孔呈环带状分布时，分布原则为r<sub>n</sub><sup>2</sup>＝2nf<sub>n</sub>λ+n<sup>2</sup>λ<sup>2</sup>，其中r<sub>n</sub>为环带半径，n为圆孔所在环带的环数，最内环为第一环，n∈{1，2，…，Max}，Max为最大环带数；f<sub>n</sub>为第n环所对应的焦距；λ为波长；其中对应r<sub>n</sub>上的透光孔的直径为<img file="FDA0000982472570000011.GIF" wi="518" he="79" />其中d<sub>n</sub>为透光孔的直径；w<sub>n</sub>为环带宽度；λ为波长；f<sub>n</sub>为第n环所对应的焦距；r<sub>n</sub>为环带半径。 | ||
| 地址 | 610209 四川省成都市双流350信箱 | ||