| 发明名称 | 一种类金刚石碳薄膜的制备方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供了一种类金刚石碳薄膜的制备方法，包括如下步骤：以离子液体溶液为原料，制备得到离子液体薄膜；将所述离子液体薄膜在惰性气氛下进行热处理，得到类金刚石碳薄膜。本发明提供的方案以离子液体作为碳源，拓展了热解法制备DLC薄膜的碳源选择。此外，本发明得到的DLC薄膜具有高硬度和高杨氏模量的特性。实验结果表明，杨氏模量Er为11.92GPa，硬度为5.1GPa。另外，本发明得到的DLC薄膜呈无定形非晶态碳结构，满足类金刚石的结构要求。 | ||
| 申请公布号 | CN105887051A | 申请公布日期 | 2016.08.24 |
| 申请号 | CN201610207677.1 | 申请日期 | 2016.04.05 |
| 申请人 | 兰州理工大学 | 发明人 | 陈丽;张明霞;李娜 |
| 分类号 | C23C18/12(2006.01)I | 主分类号 | C23C18/12(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人 | 李娜 |
| 主权项 | 一种类金刚石碳薄膜的制备方法，包括如下步骤：以离子液体溶液为原料，制备得到离子液体薄膜；将所述离子液体薄膜在惰性气氛下进行热处理，得到类金刚石碳薄膜。 | ||
| 地址 | 730000 甘肃省兰州市七里河区兰工坪路287号 | ||