等离子体发射光谱二维空间分布的测量系统

摘要

本发明提出一种等离子体发射光谱二维空间分布的测量系统，包括：第一离轴抛物面镜用于将等离子体光源产生的光信号准直为平行光；第二离轴抛物面镜，第一离轴抛物面镜和第二离轴抛物面镜呈中心对称设置，以将平行光进行汇聚并形成汇聚点；窄带干涉滤光片设置在汇聚点和第二离轴抛物面镜之间，用于对由第二离轴抛物面镜反射的光信号进行色散，以得到色散后的光信号；图像采集器设置在所述汇聚点以采集等离子体的发光图像。本发明的系统，结构简单、测量效率高。

主权项

一种等离子体发射光谱二维空间分布的测量系统，其特征在于，包括：第一离轴抛物面镜，所述第一离轴抛物面镜用于将等离子体光源产生的光信号准直为平行光；第二离轴抛物面镜，所述第一离轴抛物面镜和所述第二离轴抛物面镜呈中心对称设置，以将所述平行光进行汇聚并形成汇聚点；窄带干涉滤光片，所述窄带干涉滤光片设置在所述汇聚点和所述第二离轴抛物面镜之间，用于对由所述第二离轴抛物面镜反射的光信号进行色散，以得到色散后的光信号；和图像采集器，所述图像采集器设置在所述汇聚点以采集等离子体的发光图像；光学平台，其中，所述第一离轴抛物面镜、所述第二离轴抛物面镜和所述图像采集器设置在所述光学平台上；旋转台，所述旋转台设置于所述光学平台上，所述旋转台用于驱动所述窄带干涉滤光片进行旋转以改变光信号在所述窄带干涉滤光片上的入射角度。