| 发明名称 | 一种多自由度精密调整机构 | ||
| 摘要 | 一种多自由度精密调整机构，包括连接结构、倾斜柔性支撑结构、位移柔性支撑结构和固定机构，连接结构包括面弹簧、面弹簧外圈固定夹和面弹簧内圈固定夹，倾斜柔性支撑结构包括倾斜支撑架、Rx驱动装置和Ry驱动装置，位移柔性支撑结构包括位移支撑架、X 向驱动装置和Y向驱动装置，固定机构包括支撑座、楔形块和固定架，固定架用于固定被调整元件，面弹簧内圈固定夹和固定架之间相连、倾斜支撑架和位移支撑架相连、位移支撑架和支撑座之间通过固定架和面弹簧内圈固定夹之间的夹紧力贴合、支撑座和楔形块之间相连、楔形块和固定架之间贴合定位。 | ||
| 申请公布号 | CN103926671B | 申请公布日期 | 2016.08.24 |
| 申请号 | CN201310009427.3 | 申请日期 | 2013.01.11 |
| 申请人 | 上海微电子装备有限公司;上海微高精密机械工程有限公司 | 发明人 | 程海林 |
| 分类号 | G02B7/00(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I | 主分类号 | G02B7/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人 | 屈蘅 |
| 主权项 | 一种多自由度精密调整机构，包括连接结构、倾斜柔性支撑结构、位移柔性支撑结构和固定机构，连接结构包括面弹簧、面弹簧外圈固定夹和面弹簧内圈固定夹，倾斜柔性支撑结构包括倾斜支撑架、Rx驱动装置和Ry驱动装置，位移柔性支撑结构包括位移支撑架、X 向驱动装置和Y向驱动装置，固定机构包括支撑座、楔形块和固定架，固定架用于固定被调整元件，面弹簧内圈固定夹和固定架之间相连、倾斜支撑架和位移支撑架相连、位移支撑架和支撑座之间通过固定架和面弹簧内圈固定夹之间的夹紧力贴合、支撑座和楔形块之间相连、楔形块和固定架之间贴合定位。 | ||
| 地址 | 201203 上海市浦东新区张江高科技园区张东路1525号 | ||