真空镀膜用实时膜厚修正板及其控制方法

摘要

本发明涉及一种真空镀膜用实时膜厚修正板及其控制方法。本发明主要是解决现有的膜厚修正板存在的镀膜材料浪费大、镀膜不均匀和产品质量差的技术问题。本发明的技术方案是：真空镀膜用实时膜厚修正板，它包括膜厚修正板支架，其中：它还包括旋转膜厚修正板、旋转装置和固定膜厚修正板，固定膜厚修正板设在膜厚修正板支架的一边，在固定膜厚修正板上设有回转导轨，旋转膜厚修正板设在固定膜厚修正板的上面并使设置在旋转膜厚修正板上的导柱位于回转导轨中，旋转装置设在固定膜厚修正板上并位于旋转膜厚修正板的一侧。其控制方法是实时比较主监控点与辅助监控点的镀膜速率，在保证主监控点镀膜速率稳定的条件下实现快速实时膜厚分布的修正。

主权项

一种真空镀膜用实时膜厚修正板，它包括膜厚修正板支架，其特征在于：它还包括旋转膜厚修正板、旋转装置和固定膜厚修正板，固定膜厚修正板设在膜厚修正板支架的一边，在固定膜厚修正板上设有能使旋转膜厚修正板旋转的回转导轨，旋转膜厚修正板设在固定膜厚修正板的上面并使设置在旋转膜厚修正板上的导柱位于回转导轨中，旋转装置设在固定膜厚修正板上并位于旋转膜厚修正板的一侧。