一种半导体激光器中微光学透镜实现精密装调的在线监测装置的使用方法

摘要

本发明提供了一种半导体激光器中微光学透镜实现精密装调的在线监测装置及其使用方法的技术方案，该方案该方法采用CCD作为光斑数据采集元件，基于光束分束原理，在微光学透镜装调过程中，同时在线监测近场和远场光斑数据，通过近场CCD光斑数据变化作为微光学透镜旋转轴的最佳空间位置判据，通过远场CCD光斑数据变化作为微光学透镜位移轴的最佳空间位置判据，可实现半导体激光器快慢轴光束发散角和指向性的精密控制。该发明具有系统集成度高、监测判据精密可靠等特点，基于该发明实现的低发散角、高指向性的半导体激光器可应用在泵浦固体激光器、医疗及工业加工等众多领域。

主权项

一种半导体激光器中微光学透镜实现精密装调的在线监测装置的使用方法：其特征是包括以下步骤：步骤一：首先设定坐标系：X方向为半导体激光器慢轴方向，Y方向为半导体激光器快轴方向，Z方向为半导体激光器光束岀射方向；然后将微光学透镜固定到六轴调节架上，同时通过近场柱面透镜将近场分光镜的反射光束收集进入近场CCD中；近场柱面透镜的曲率沿半导体激光器的慢轴方向分布，其焦距为300~500mm,近场分光镜的透反射比为1:1，射向近场分光镜的激光束的入射角度为45°±1°；在X方向和Y方向，近场分光镜的反射光束质心与近场柱面透镜的几何中心偏差均不大于±0.1mm，近场CCD和近场柱面透镜的最佳成像距离偏差不大于±1mm；步骤二：通过远场柱面透镜将远场分光镜的反射光束收集进入远场CCD中，同时将远场分光镜的透射光束导入吸收池；远场柱面透镜的曲率沿半导体激光器的快轴方向分布，其焦距为300~500mm,远场分光镜的透反射比为7:3，射向远场分光镜的激光束的入射角度为45°±1°；在X方向和Y方向，远场分光镜的反射光束质心与远场柱面透镜的几何中心偏差均不大于±0.1mm，远场CCD和远场柱面透镜的像方焦点偏差不大于±1mm；步骤三：通过近场CCD的光斑数据变化，指导六轴调节架把微光学透镜在三个旋转轴向调节到最佳位置；步骤四：通过远场CCD中的光斑数据变化，指导六轴调节架把微光学透镜在三个位移轴向调节到最佳位置。