一种用于集成电路测试系统中微安级直流电流的校准装置及其方法

摘要

一种集成电路测试系统微安级直流电流校准装置，包括专用校准线缆及接口、矩阵开关、低噪声低漏电流屏蔽线缆、直流电流表、可调电阻；其优点是：（1）可对微安级直流电流进行满足量值传递/溯源要求的校准；（2）采用了矩阵开关作为主架构，保证了装置的可扩展性和兼容性；（3）对测量设备的要求不高，无需其他体积较大的专用设备；（4）校准方法流程简单，一名校准人员即可完成校准操作。

主权项

一种集成电路测试系统微安级直流电流校准装置，其特征在于，包括专用校准线缆及接口、矩阵开关、低噪声低漏电流屏蔽线缆、直流电流表、可调电阻；其中，直流电流表与可调电阻通过低噪声低漏电流屏蔽线缆连接至矩阵开关，矩阵开关通过专用校准线缆连接有校准接口，标准化的校准接口可以实现与不同型号集成电路测试系统的机械对接，校准时校准接口、直流电流表、可调电阻在矩阵开关的控制下形成串联关系；所述的专用校准线缆及校准接口选用绝缘层为特氟龙的导线作为专用校准线缆内芯，内芯数量需根据接口进行确定，将多股内芯进行绞合，在外层覆盖金属屏蔽层，并套入套管中，以控制线缆的噪声和漏电流，校准接口需选用包含金属外壳的插座，金属屏蔽层需要与校准接口的金属外壳进行良好的搭接，制作好的校准线缆与插头的接线端子进行焊接处理。