一种离子注入机的自动手动真空模块切换的方法

摘要

本发明公开了一种离子注入机的自动真空手动真空模块切换的方法，通过软件界面来控制设备开关，包括自动按钮(1)、自动模式(手动操作屏蔽)(2)、自动操作从第一步开始(3)、符合条件判断(4)、相应操作(5)、跳过(6)、进行下一步(7)、完成(8)、手动按钮(9)、手动模式(10)、手动可操作(11)。

主权项

一种离子注入机的自动真空手动真空模块切换的方法，包括自动按钮(1)、自动模式(手动操作屏蔽)(2)、自动操作从第一步开始(3)、符合条件判断(4)、相应操作(5)、跳过(6)、进行下一步(7)、完成(8)、手动按钮(9)、手动模式(10)、手动可操作(11)。