| 发明名称 | 防止在沉积工艺的吹扫过程中对真空阀门档板污染的方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供了一种防止在沉积工艺的吹扫过程中对真空阀门档板污染的方法，包括：第一步骤：在执行微通道结构球孔吹扫前在沟槽处放置遮挡装置；第二步骤：执行微通道结构球孔吹扫；第三步骤：移除所述遮挡装置。在本发明中，在进行微通道结构球孔吹扫前在沟槽处放置遮挡装置，以避免粉末吹入至真空阀门档板与腔体之间的沟槽内，由此防止对真空阀门档板的二次污染。 | ||
| 申请公布号 | CN105887044A | 申请公布日期 | 2016.08.24 |
| 申请号 | CN201610355236.6 | 申请日期 | 2016.05.25 |
| 申请人 | 上海华力微电子有限公司 | 发明人 | 黄彪;刘涛;姚健敏 |
| 分类号 | C23C16/44(2006.01)I;C23C16/50(2006.01)I | 主分类号 | C23C16/44(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人 | 智云 |
| 主权项 | 一种防止在沉积工艺的吹扫过程中对真空阀门档板污染的方法，其特征在于包括：第一步骤：在执行微通道结构球孔吹扫前在沟槽处放置遮挡装置；第二步骤：执行微通道结构球孔吹扫；第三步骤：移除所述遮挡装置。 | ||
| 地址 | 201203 上海市浦东新区张江开发区高斯路568号 | ||