发明名称 |
一种光学元件定点蚀刻及观测装置 |
摘要 |
一种光学元件定点蚀刻及观测装置,涉及光学元件。设有支架、三维移动平台、三维移动平台直线电机、光学元件夹具、蚀刻结构、伺服电机、Z轴承载板、显微镜和计算机;三维移动平台设于支架上方,光学元件夹具安装于支架上端台面上,蚀刻结构设有蚀刻头和蚀刻液容器,蚀刻液容器设有蚀刻液进口阀门,蚀刻头安装于蚀刻液容器的蚀刻液出口端,蚀刻头下端设有蚀刻液出口,蚀刻液出口与蚀刻液容器连通,伺服电机安装在Z轴承载板上,Z轴承载板安装于三维移动平台上,伺服电机输出轴与固连有接板,显微镜与蚀刻结构固于连接板的两端,计算机内安装有运动控制卡,计算机与三维移动平台直线电机电连接,三维移动平台直线电机输出轴接三维移动平台。 |
申请公布号 |
CN103322938B |
申请公布日期 |
2016.08.24 |
申请号 |
CN201310236649.9 |
申请日期 |
2013.06.15 |
申请人 |
厦门大学 |
发明人 |
郭隐彪;叶卉;杨炜 |
分类号 |
G01B11/24(2006.01)I;G01B11/22(2006.01)I |
主分类号 |
G01B11/24(2006.01)I |
代理机构 |
厦门南强之路专利事务所(普通合伙) 35200 |
代理人 |
刘勇 |
主权项 |
一种光学元件定点蚀刻及观测装置,其特征在于:设有支架、三维移动平台、三维移动平台直线电机、光学元件夹具、蚀刻结构、伺服电机、Z轴承载板、显微镜和计算机;三维移动平台设于支架上方,光学元件夹具安装于支架上端台面上,蚀刻结构设有蚀刻头和蚀刻液容器,蚀刻液容器设有蚀刻液进口阀门,蚀刻头安装于蚀刻液容器的蚀刻液出口端,蚀刻液出口与蚀刻液容器连通,伺服电机安装在Z轴承载板上,Z轴承载板安装于三维移动平台上,伺服电机输出轴固连有连接板,显微镜与蚀刻结构分别固定于该连接板的两端,计算机内安装有运动控制卡,计算机与三维移动平台直线电机电连接,三维移动平台直线电机输出轴与三维移动平台连接;所述蚀刻液出口的两侧包裹有光刻胶。 |
地址 |
361005 福建省厦门市思明南路422号 |