用于蒸气释放碱金属或碱土金属的有机-无机组合物

摘要

本发明涉及用于释放碱金属或碱土金属蒸气的前体组合物，所述组合物包含至少一种碱金属或碱土金属化合物、至少一种还原剂和任选的吸收材料，其都以粉末形式分散在混合的有机-无机型粘性基体中。本发明还涉及用于释放通过所述组合物获得的这些金属的分配器以及其中可放入或使用所述分配器的微电子器件。

主权项

一种包含前体的组合物，所述前体适合于释放碱金属或碱土金属，所述组合物包含至少一种碱金属或碱土金属化合物和至少一种还原剂，所述化合物和所述还原剂以粉末形式分散在混合的有机‑无机粘合剂中，所述粘合剂包含至少一种有机增稠剂组分和至少一种无机稳定剂组分，其中所述碱金属或碱土金属化合物选自碱金属或碱土金属的锆酸盐、硅酸盐、钽酸盐、铌酸盐、钨酸盐、钼酸盐和钛酸盐。