| 发明名称 | 具有环形塌陷区域的预塌陷电容式微机械换能器元件 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种预塌陷电容式微机械换能器单元(10)，包括衬底(12)和薄膜(14)，所述衬底(12)包括第一电极(16)，所述薄膜(14)包括第二电极(18)，其中所述单元具有所述薄膜(14)被安装到所述衬底(12)所在的外部区域(22)以及在所述外部区域(22)内或被所述外部区域(22)包围的内部区域(20)，其中在位于所述内部区域(20)内的第一塌陷环形区域(24)中，所述薄膜(14)被塌陷到所述衬底(12)。 | ||
| 申请公布号 | CN103958079B | 申请公布日期 | 2016.08.24 |
| 申请号 | CN201280056554.2 | 申请日期 | 2012.11.05 |
| 申请人 | 皇家飞利浦有限公司 | 发明人 | A·L·鲁滨逊;J·D·弗雷泽 |
| 分类号 | B06B1/02(2006.01)I | 主分类号 | B06B1/02(2006.01)I |
| 代理机构 | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人 | 韩宏;陈松涛 |
| 主权项 | 一种预塌陷电容式微机械换能器单元(10)，包括：‑衬底(12)，所述衬底(12)包括第一电极(16)，‑薄膜(14)，所述薄膜(14)包括第二电极(18)，‑所述薄膜(14)被安装到所述衬底(12)所处的外部区域(22)，‑在所述外部区域(22)内或被所述外部区域(22)包围的内部区域(20)，其中，在位于所述内部区域(20)内的环形第一塌陷区域(24)中，使所述薄膜(14)塌陷到所述衬底(12)；并且其中，所述单元具有在所述环形第一塌陷区域(24)内的或被所述环形第一塌陷区域(24)包围的第一换能区域(26)以及在所述环形第一塌陷区域(24)外的或包围所述环形第一塌陷区域(24)的第二换能区域(27)。 | ||
| 地址 | 荷兰艾恩德霍芬 | ||