ZnO微纳米线制备方法、ZnO微纳米线压电换能元件制备方法

摘要

本发明公开了一种ZnO微纳米线制备方法。首先在基底上真空沉积ZnO薄膜；然后利用光刻工艺得到ZnO微纳米线。本发明还公开了一种ZnO微纳米线压电换能元件制备方法，利用上述ZnO微纳米线制备方法，再结合从上到下（Top‑down）微纳加工技术，可大批量、低成本地实现高能量转换效率的ZnO微纳米线压电换能元件生产加工，且生产成品率高。本发明制备得到的ZnO微纳米线具有高的c‑轴择优取向和小于3%（3‑sigma）的均匀性，基于该ZnO微纳米线的微纳米发电机可产生足以驱动大多数微传感器和微LED照明所需要的功率。

主权项

一种ZnO微纳米线制备方法，其特征在于，首先在基底上真空沉积ZnO薄膜；然后利用光刻工艺得到ZnO微纳米线。