发明名称 |
平滑修饰液及平滑修饰方法及异质结太阳能电池硅片及异质结太阳能电池 |
摘要 |
本发明涉及太阳能电池领域,具体公开了一种用于异质结太阳能电池硅片的金字塔绒面的平滑修饰液,其包括臭氧、氟化氢以及水;臭氧的浓度为10~30mg/L。上述平滑修饰液,采用臭氧与氢氟酸配合,可使金字塔绒面的尖锐的塔尖和塔底变得圆润,同时使得金字塔绒面的表面粗糙度降低,从而有利于后续本征硅薄膜沉积更加均匀,从而有利于提高异质结太阳能电池的性能。本发明还公开了异质结太阳能电池硅片的金字塔绒面的平滑修饰方法,以及由此得到的异质结太阳能电池硅片以及包含异质结太阳能电池硅片的异质结太阳能电池。 |
申请公布号 |
CN105895714A |
申请公布日期 |
2016.08.24 |
申请号 |
CN201610457457.4 |
申请日期 |
2016.06.22 |
申请人 |
苏州协鑫集成科技工业应用研究院有限公司;协鑫集成科技(苏州)有限公司;协鑫集成科技股份有限公司 |
发明人 |
谢卿;张闻斌;王琪 |
分类号 |
H01L31/0236(2006.01)I;H01L31/0747(2012.01)I |
主分类号 |
H01L31/0236(2006.01)I |
代理机构 |
广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 |
代理人 |
唐清凯 |
主权项 |
一种用于异质结太阳能电池硅片的金字塔绒面的平滑修饰液,其特征在于,包括臭氧、氟化氢以及水;所述臭氧的浓度为10~30mg/L。 |
地址 |
215000 江苏省苏州市苏州工业园区钟慧路58号2幢125室 |