发明名称 |
一种通用型针座及其使用方法 |
摘要 |
本发明提供一种通用型针座及其使用方法,包括探针、电阻、选择开关、源量测单元;所述探针、所述选择开关和所述源量测单元之间串联连接形成回路;所述选择开关控制所述电阻接入所述回路或将所述电阻短路。所述探针对待测样品实施介质击穿测试时,通过所述选择开关将所述电阻接入所述回路中;所述探针对待测样品实施常规测试时,通过所述选择开关将所述电阻短路。使用本发明一种通用型针座及其使用方法,通过增加一个具有旋转接入电阻电路或导线电路的双掷选择开关,能够有效地减少介质击穿瞬间的电流,通过选择开关兼容电流会突然变大的介质击穿测试和常规测试。 |
申请公布号 |
CN103869111B |
申请公布日期 |
2016.08.17 |
申请号 |
CN201410059942.7 |
申请日期 |
2014.02.21 |
申请人 |
上海华力微电子有限公司 |
发明人 |
邓娇娇;尹彬锋;沈蕾 |
分类号 |
G01R1/067(2006.01)I |
主分类号 |
G01R1/067(2006.01)I |
代理机构 |
上海申新律师事务所 31272 |
代理人 |
吴俊 |
主权项 |
一种通用型针座的使用方法,其特征在于,所述的通用型针座包括探针、电阻、选择开关、源量测单元,所述探针、所述选择开关和所述源量测单元之间串联连接形成回路,所述选择开关控制所述电阻接入所述回路或将所述电阻短路;所述探针对待测样品实施介质击穿测试时,通过所述选择开关将所述电阻接入所述回路中,通过所述电阻抑制介质击穿瞬间所述探针电流变大,其中该待测样品未击穿时电阻无穷大且通过所述探针的电流在微安级别也即在10<sup>‑6</sup>安培以下,而在介质击穿瞬间,整个电路的电阻等于所述电阻加上介质击穿后的介质电阻,此时整个电路的电阻等于1k欧姆,通过所述探针的电流为10<sup>‑3</sup>安培;所述探针对待测样品实施常规测试时,通过所述选择开关将所述电阻短路,实现正常测试。 |
地址 |
201210 上海市浦东新区张江高科技园区高斯路568号 |