发明名称 一种测量双片波片补偿器中光轴偏差角的方法
摘要 本发明公开了一种测量双片波片补偿器中光轴偏差角的方法,属于光学器件技术领域。该方法基于无样品直通式旋转波片椭偏光学系统,包括步骤1:旋转双片波片补偿器,得到不同波长下的光谱强度;步骤2:对探测单元接收到的各个波长下的光谱强度作傅里叶展开或拟合,得到不同波长下的实验傅里叶系数α′<sub>4</sub>,β′<sub>4</sub>;步骤3:计算得到光轴偏差角Δ<sub>c</sub>。该方法通过旋转波片,可以测量出双片波片中光轴对准的偏差角度,即光轴偏差角,并且,在使用时,起偏器P和检偏器A可处于任意的角度。
申请公布号 CN103968783B 申请公布日期 2016.08.17
申请号 CN201310039434.8 申请日期 2013.01.31
申请人 北京智朗芯光科技有限公司;中国科学院微电子研究所 发明人 崔高增;刘涛;李国光
分类号 G01B11/26(2006.01)I 主分类号 G01B11/26(2006.01)I
代理机构 北京华沛德权律师事务所 11302 代理人 刘丽君
主权项 一种测量双片波片补偿器中光轴偏差角的方法,所述方法基于无样品直通式旋转波片椭偏光学系统,所述光学系统包括光源、起偏器、双片波片补偿器、检偏器和探测单元,由所述光源发出的光依次通过所述起偏器、双片波片补偿器、检偏器后被所述探测单元接收,其特征在于,包括以下步骤:步骤1:旋转所述双片波片补偿器,得到不同波长下的光谱强度;步骤2:对所述探测单元接收到的各个波长下的光谱强度作傅里叶展开或拟合,得到不同波长下的实验傅里叶系数α'<sub>4</sub>,β'<sub>4</sub>;步骤3:通过下式以及得到的所述的实验傅里叶系数α'<sub>4</sub>,β′<sub>4</sub>的值,计算得到光轴偏差角Δ<sub>c</sub>;<maths num="0001"><math><![CDATA[<mrow><msup><mi>tan</mi><mrow><mo>-</mo><mn>1</mn></mrow></msup><mrow><mo>(</mo><mfrac><msubsup><mi>&beta;</mi><mn>4</mn><mo>&prime;</mo></msubsup><msubsup><mi>&alpha;</mi><mn>4</mn><mo>&prime;</mo></msubsup></mfrac><mo>)</mo></mrow><mo>=</mo><mn>2</mn><mrow><mo>(</mo><mi>A</mi><mo>+</mo><mi>P</mi><mo>-</mo><mn>2</mn><msub><mi>C</mi><mi>s</mi></msub><mo>)</mo></mrow><mo>-</mo><mn>2</mn><mo>&lsqb;</mo><mn>1</mn><mo>-</mo><mfrac><mrow><mi>s</mi><mi>i</mi><mi>n</mi><mrow><mo>(</mo><mfrac><mrow><msub><mi>&delta;</mi><mn>2</mn></msub><mo>+</mo><msub><mi>&delta;</mi><mn>1</mn></msub></mrow><mn>2</mn></mfrac><mo>)</mo></mrow></mrow><mrow><mi>s</mi><mi>i</mi><mi>n</mi><mrow><mo>(</mo><mfrac><mrow><msub><mi>&delta;</mi><mn>2</mn></msub><mo>-</mo><msub><mi>&delta;</mi><mn>1</mn></msub></mrow><mn>2</mn></mfrac><mo>)</mo></mrow></mrow></mfrac><mo>&rsqb;</mo><mo>&times;</mo><msub><mi>&Delta;</mi><mi>c</mi></msub><mo>,</mo></mrow>]]></math><img file="FDA0000921745180000011.GIF" wi="1171" he="279" /></maths>其中,α'<sub>4</sub>,β'<sub>4</sub>,每个波长下的傅里叶系数;A,检偏器角度;P,起偏器角度;C<sub>s</sub>,双片波片补偿器的初始方位角;Δ<sub>c</sub>,光轴偏差角度;δ<sub>1</sub>,δ<sub>2</sub>,双片波片补偿器中各波片相位延迟量。
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