发明名称 载入机装置、搬运系统、以及容器搬出方法
摘要 本发明提供载入机装置、搬运系统、以及容器搬出方法。防止装入搬运车的密闭容器的内部气体的浓度的降低。载入机装置是用于将具有气孔的容器(27)搬运到高架搬运车(59)的外侧输送单元(49)的装置,具备输送机(47)、净化装置(73)、和储料控制器(101)。输送机(47)延伸至外侧输送单元(49)。净化装置(73)配置于外侧输送单元(49)的附近,具有供气喷嘴(79),其用于通过与气孔连接来向容器(27)中供给净化气体,和第一升降机构(87),其使供气喷嘴(79)接近离开供气端口(65)。储料控制器(101)是控制净化装置(73)向容器(27)中的净化气体的供给单元,基于高架搬运车(59)到达外侧输送单元(49)来停止净化装置(73)的向容器(27)的净化气体的供给。
申请公布号 CN103548130B 申请公布日期 2016.08.17
申请号 CN201280024471.5 申请日期 2012.04.20
申请人 村田机械株式会社 发明人 富永忠正
分类号 H01L21/677(2006.01)I;B65G1/00(2006.01)I;B65G1/04(2006.01)I 主分类号 H01L21/677(2006.01)I
代理机构 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人 舒艳君;田军锋
主权项 一种载入机装置,是用于将具有气孔的容器搬运到由搬运车进行装入的装入位置的载入机装置,其中,所述载入机装置具备:输送机,其延伸至所述装入位置;喷嘴机构,其配置在所述装入位置的附近,并具有:喷嘴,其用于通过与所述气孔连接来向所述容器中供给净化气体;和移动机构,其使所述喷嘴接近或离开所述气孔;以及控制器,其是对由所述喷嘴机构向所述容器中供给净化气体进行控制的单元,所述控制器根据所述搬运车到达所述装入位置来使由所述喷嘴机构向所述容器的净化气体的供给停止。
地址 日本京都府