基于化学刻蚀一体式石英圆柱壳体谐振子修形系统及方法

摘要

本发明属于振动陀螺技术领域，具体涉及一种基于化学刻蚀的针对一体式石英圆柱壳体谐振子的修形系统及修形方法。本发明所述修形系统由粗调升降台、微调升降台、一号直角台、手动旋转台、二号直角台、电控旋转台、固定支架、化学修形槽、化学修形溶液、搅拌装置、温控装置组成，化学修形槽用聚丙烯塑料制作而成，内部设置有搅拌装置和温控装置，化学修形溶液盛放在化学修形槽内。本发明具有系统简单、成本低、修形效率高、操作简单等优点，能有效减小一体式石英圆柱壳体谐振子的频率裂解，校正振型偏移角，从而可以提高圆柱壳体谐振陀螺的整体性能。

主权项

一种基于化学刻蚀的一体式石英圆柱壳体谐振子的修形系统，其特征在于：所述的化学修形系统由谐振子位置调整装置和化学修形装置两大部分组成，所述位置调整装置由粗调升降台(1)、微调升降台(2)、一号直角台(3)、手动旋转台(4)、二号直角台(5)、电控旋转台(6)、固定支架(7)组成，一体式石英圆柱壳体谐振子(8)安装在固定支架(7)上，所述位置调整装置用于使一体式石英圆柱壳体谐振子(8)实现绕x轴和z轴的转动及沿z轴的平移；所述化学修形装置由化学修形槽(9)、化学修形溶液(10)、搅拌装置(11)、温控装置(12)组成，所述化学修形槽(9)用聚丙烯塑料制作而成，内部设置有搅拌装置(11)和温控装置(12)，化学修形溶液(10)盛放在化学修形槽(9)内；所述粗调升降台(1)用于实现一体式石英圆柱壳体谐振子(8)在修形开始之前和结束后沿z轴方向的快速上下平移；所述微调升降台(2)固定在粗调升降台(1)上，用于实现一体式石英圆柱壳体谐振子(8)在z轴方向的平移，从而调整一体式石英圆柱壳体谐振子(8)浸入到化学修形溶液(9)中的最大深度h_max和一体式石英圆柱壳体谐振子(8)浸入到化学修形溶液液面下楔形部分的中心角2α的大小；所述直角台为连接转换器件，包括一号直角台(3)和二号直角台(5)，一号直角台(3)用于连接微调升降台(2)和手动旋转台(4)，二号直角台(5)用于连接手动旋转台(4)和电控旋转台(6)，所述一体式石英圆柱壳体谐振子(8)通过固定支架(7)固定于电控旋转台(6)的底部；所述的手动旋转台(4)为一体式石英圆柱壳体谐振子(8)提供绕x轴的旋转，从而调整一体式石英圆柱壳体谐振子(8)的倾斜角β，使一体式石英圆柱壳体谐振子(8)以一定的倾斜角度浸入到化学修形溶液(10)中；所述电控旋转台(6)用于控制修形时一体式石英圆柱壳体谐振子(8)绕z轴的旋转，实现在一体式石英圆柱壳体谐振子(8)边沿一周对称N个位置的修形，N≥2；所述化学修形槽(9)位于电控旋转台(6)的下方，内部装有化学修形溶液(10)，通过搅拌装置(11)缓慢均匀地搅拌化学修形溶液(10)，使化学修形溶液(10)的浓度保持均匀，确保一体式石英圆柱壳体谐振子(8)在修形过程中质量去除速率的稳定；通过温控装置(12)控制化学修形溶液(10)保持恒温，确保一体式石英圆柱壳体谐振子(8)在修形过程中质量去除速率的稳定，所述化学修形溶液(10)为含有HF的溶液。