一种生产一氧化硅的卧式真空炉及使用方法

摘要

一种生产一氧化硅的卧式真空炉及使用方法，属于真空设备制造技术领域。卧式真空炉是分体式的，分体的部位在以加热侧外侧为起点，分体的部位占总长度的50％－85％。卧式真空炉加热体系采用钼、钨或者钼钨合金发热原件作为发热体；优先采用钼金属作为发热体，但不排除使用其它金属体作为发热体。卧式真空炉盛放原料坩埚的材质为氧化铝、钼或者钨，优先采用钼坩埚作为盛放原料的容器，但不排除使用其它坩埚。本发明单炉生产产量高，质量稳定，能满足工业生产的大量需求。升温速度快，可以人为设定，生产周期短，节约资源降低能耗，满足国家节能减排的要求。降低生产成本，因产量高，质量稳定，生产周期较短，综合生产成本明显下降。

主权项

一种生产一氧化硅的卧式真空炉，其特征在于卧式真空炉是分体式的，分体的部位在以加热侧外侧为起点，分体的部位占总长度的50％－85％。