一种基于气体检测功能的污水过滤处理装置

摘要

本申请涉及一种基于气体检测功能的污水过滤处理装置，包括污水过滤处理装置本体和安装于该污水过滤处理装置内部的监控CO₂、NO₂气体浓度的SAW传感器，所述SAW传感器基于SAW器件，拥有五通道结构，其中通道三作为参考通道，通道一与通道二的敏感区域涂覆敏感薄膜材料一，进行CO₂气体的探测，通道四与通道五的敏感区域涂覆敏感薄膜材料二，进行NO₂气体的探测；对每种气体均采用双通道同时探测，大大增加了对气体探测的稳定性，保证了传感器读取数据的可信度，并且重复性良好，高温下测试稳定性佳，使得本发明的污水过滤处理装置能够高灵敏、高可靠的检测工作过程中CO₂、NO₂气体。

主权项

一种基于气体检测功能的污水过滤处理装置，包括污水过滤处理装置本体和安装于该污水过滤处理装置内部的监控CO₂、NO₂气体浓度的SAW传感器，所述SAW传感器拥有五通道结构，其中通道三作为参考通道，通道一与通道二的敏感区域涂覆敏感薄膜材料一，进行CO₂气体的探测，通道四与通道五的敏感区域涂覆敏感薄膜材料二，进行NO₂气体的探测；所述通道敏感薄膜材料一、二均为三层，所述敏感薄膜与SAW器件之间还磁控溅射一层Ni膜，所述Ni膜厚度为110nm。