发明名称 |
一种芯片拾取装置 |
摘要 |
本发明提供了一种芯片拾取装置,其可以有效避免在拾取芯片时对芯片边缘敏感区域的划伤和压伤,从而提升芯片的性能和可靠性及产品良率,进一步提升产品的综合性价比,包括安装在机械手上的芯片吸嘴,所述芯片吸嘴的上端连接有吸气管道,所述吸气管道连接真空泵,其特征在于:在所述芯片吸嘴内部、对应所述芯片吸嘴与芯片的边沿的敏感区域接触的位置处设置有凹槽,使得所述芯片吸嘴与所述芯片的边沿的敏感区域之间相互分离,且所述芯片吸嘴能够吸起所述芯片。 |
申请公布号 |
CN105870047A |
申请公布日期 |
2016.08.17 |
申请号 |
CN201610379339.6 |
申请日期 |
2016.06.01 |
申请人 |
爱普科斯科技(无锡)有限公司 |
发明人 |
唐晓 |
分类号 |
H01L21/683(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/683(2006.01)I |
代理机构 |
无锡盛阳专利商标事务所(普通合伙) 32227 |
代理人 |
顾吉云 |
主权项 |
一种芯片拾取装置,包括安装在机械手上的芯片吸嘴,所述芯片吸嘴的上端连接有吸气管道,所述吸气管道连接真空泵,其特征在于:在所述芯片吸嘴内部、对应所述芯片吸嘴与芯片的边沿的敏感区域接触的位置处设置有凹槽,使得所述芯片吸嘴与所述芯片的边沿的敏感区域之间相互分离,且所述芯片吸嘴能够吸起所述芯片。 |
地址 |
214028 江苏省无锡市新吴区无锡新加坡工业园新都路2号 |