发明名称 一种晶体硅太阳能电池绒面结构的制备方法
摘要 本发明公开了一种晶体硅太阳能电池绒面结构的制备方法,包括如下步骤:(1)在硅片表面形成多孔质层结构;(2)然后用碱性化学液进行清洗,并去除孔底残留金属颗粒;(3)然后用第一化学腐蚀液进行表面刻蚀,即可得到晶体硅太阳能电池绒面结构。本发明大幅度延长了第一腐蚀液的使用寿命,并确保了绒面结构的稳定性和均匀性。
申请公布号 CN105870263A 申请公布日期 2016.08.17
申请号 CN201610480930.0 申请日期 2016.06.27
申请人 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司 发明人 邹帅;王栩生;邢国强
分类号 H01L31/18(2006.01)I;H01L31/0236(2006.01)I 主分类号 H01L31/18(2006.01)I
代理机构 苏州翔远专利代理事务所(普通合伙) 32251 代理人 陆金星
主权项 一种晶体硅太阳能电池绒面结构的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:(1) 在硅片表面形成多孔质层结构;(2) 用碱性化学液进行清洗;(3) 采用第一清洗液去除残留金属颗粒;(4) 然后用第一化学腐蚀液进行表面刻蚀;即可得到晶体硅太阳能电池绒面结构;所述第一化学腐蚀液为BOE和双氧水的混合溶液。
地址 215129 江苏省苏州市高新区鹿山路199号