发明名称 一种TC固定装置
摘要 本实用新型提供了一种TC固定装置,其包括下卡块、与下卡块嵌合的上卡块,其中,在下卡块和上卡块侧面分别设置有紧固螺钉插入孔,且上卡块和下卡块是上下贯通的。由此,可通过向下卡块中插入紧固螺钉以将TC固定装置固定于TDMAT钢瓶上,将TC通过贯通孔插入钢瓶中,并通过将紧固螺钉插入上卡块的紧固螺钉插入孔中将TC固定于钢瓶中。通过本实用新型的固定装置,TC能够稳定地固定于TDMAT钢瓶的最底部,避免因MOCVD机台的振动而发生松脱,从而能够准确测定钢瓶中的温度,同时,TC的使用寿命也得到了有效延长。
申请公布号 CN205473979U 申请公布日期 2016.08.17
申请号 CN201620243968.1 申请日期 2016.03.28
申请人 和舰科技(苏州)有限公司 发明人 张强
分类号 C23C16/52(2006.01)I;C30B25/16(2006.01)I 主分类号 C23C16/52(2006.01)I
代理机构 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 代理人 刘小峰
主权项 一种TC固定装置,其特征在于,包括下卡块、与所述下卡块嵌合的上卡块,在所述下卡块和所述上卡块侧面分别设置有紧固螺钉插入孔,且所述上卡块和所述下卡块是上下贯通的。
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