发明名称 |
一种TC固定装置 |
摘要 |
本实用新型提供了一种TC固定装置,其包括下卡块、与下卡块嵌合的上卡块,其中,在下卡块和上卡块侧面分别设置有紧固螺钉插入孔,且上卡块和下卡块是上下贯通的。由此,可通过向下卡块中插入紧固螺钉以将TC固定装置固定于TDMAT钢瓶上,将TC通过贯通孔插入钢瓶中,并通过将紧固螺钉插入上卡块的紧固螺钉插入孔中将TC固定于钢瓶中。通过本实用新型的固定装置,TC能够稳定地固定于TDMAT钢瓶的最底部,避免因MOCVD机台的振动而发生松脱,从而能够准确测定钢瓶中的温度,同时,TC的使用寿命也得到了有效延长。 |
申请公布号 |
CN205473979U |
申请公布日期 |
2016.08.17 |
申请号 |
CN201620243968.1 |
申请日期 |
2016.03.28 |
申请人 |
和舰科技(苏州)有限公司 |
发明人 |
张强 |
分类号 |
C23C16/52(2006.01)I;C30B25/16(2006.01)I |
主分类号 |
C23C16/52(2006.01)I |
代理机构 |
北京连和连知识产权代理有限公司 11278 |
代理人 |
刘小峰 |
主权项 |
一种TC固定装置,其特征在于,包括下卡块、与所述下卡块嵌合的上卡块,在所述下卡块和所述上卡块侧面分别设置有紧固螺钉插入孔,且所述上卡块和所述下卡块是上下贯通的。 |
地址 |
215123 江苏省苏州市江苏省苏州工业园区星华街333号 |