发明名称 | 一种新型的单晶生长装置 | ||
摘要 | 本实用新型公开了一种新型的单晶生长装置,该生长装置包括:发热筒,所述发热筒外包覆有保温筒,装有氮化铝粉料的坩埚设置在从底部深入发热筒内的旋转升降机构上。本实用新型的单晶生长装置将旋转提升机构直接与发热筒内的坩埚连接,控制坩埚升降、旋转,不会影响保温结构的变化,更有利于温场的维护。 | ||
申请公布号 | CN205474113U | 申请公布日期 | 2016.08.17 |
申请号 | CN201620103694.6 | 申请日期 | 2016.02.02 |
申请人 | 北京华进创威电子有限公司 | 发明人 | 程章勇;陈颖超 |
分类号 | C30B29/38(2006.01)I;C30B15/00(2006.01)I | 主分类号 | C30B29/38(2006.01)I |
代理机构 | 北京中创阳光知识产权代理有限责任公司 11003 | 代理人 | 尹振启 |
主权项 | 一种新型的单晶生长装置,其特征在于,该生长装置包括:发热筒,所述发热筒外包覆有保温筒,装有氮化铝粉料的坩埚设置在从底部深入发热筒内的旋转升降机构上。 | ||
地址 | 101111 北京市大兴区经济技术开发区通惠干渠路17号院 |