在包括对比度增强元件的TEM中使光学元件居中的方法

摘要

本发明涉及一种用于在透射电子显微镜（TEM）中调整或对准一个或多个光学元件的方法，该TEM（500）配备了用于引导电子射束到样本（508）的物镜（512），并且该TEM示出了衍射平面（514），在该衍射平面中至少聚焦了非散射的电子射束，该TEM配备了用于增强对比度传递函数（CTF）的结构（518），所述结构位于衍射平面中或衍射平面的图像中，该方法包括调整或对准光学元件，其特征在于，通过使非散射电子射束偏转得远离所述结构来防止在所述调整或对准期间用非散射电子对所述结构的照射。用于增强CTF的结构可以例如是相位板、单边带设备或“郁金香”。在本方法的优选实施例中，要被对准的光学元件为相位增强结构本身。

主权项

用于在透射电子显微镜TEM中调整或对准一个或多个光学元件的方法，该TEM配备了用于引导电子射束到样本的物镜，并且该TEM示出了衍射平面，在该衍射平面中至少聚焦了非散射电子射束，该TEM配备了用于增强对比度传递函数CTF的结构，所述结构位于所述衍射平面中或所述衍射平面的图像中，所述结构为夹持器的一部分或安装在夹持器上，所述结构相对于夹持器的位置是已知的，并且通过放置夹持器的一个或多个特征来使所述结构居中，该方法包括调整或对准所述光学元件，在调整或对准所述一个或多个光学元件期间，通过使非散射电子射束偏转得远离所述结构来防止在所述调整或对准期间用非散射电子对所述结构的照射，其特征在于，所述夹持器示出了圆孔，圆孔的中心与所述结构重合，并且所述特征为圆孔的边缘。