红外线反射薄膜的制造方法

摘要

本发明涉及红外线反射薄膜的制造方法，该制造方法按顺序包括如下工序：金属层形成工序，在透明薄膜基材（10）上制膜金属层（25）；金属氧化物层形成工序，以在金属层（25）上直接相接的方式通过直流溅射制膜表面侧金属氧化物层（22）；以及，透明保护层形成工序，在表面侧金属氧化物层（22）上形成透明保护层（30）。在金属氧化物层形成工序中，在直流溅射法中使用的溅射靶优选的为含有锌原子和锡原子、并将氧化锌和氧化锡中的至少一种金属氧化物与金属粉末烧结而得到的靶。在表面侧金属氧化物形成工序中，向溅射制膜室内导入非活性气体和氧气。向溅射制膜室导入的气体中的氧浓度优选为8体积%以下。

主权项

一种红外线反射薄膜的制造方法，所述红外线反射薄膜在透明薄膜基材上按顺序具备金属层、表面侧金属氧化物层和透明保护层，其中，所述金属层是以银为主要成分的层，所述表面侧金属氧化物层是含有氧化锡和氧化锌的复合金属氧化物层，该制造方法按顺序包括如下工序：金属层形成工序，在透明薄膜基材上制膜所述金属层；表面侧金属氧化物层形成工序，以在所述金属层上直接相接的方式通过直流溅射制膜所述表面侧金属氧化物层；以及，透明保护层形成工序，在所述表面侧金属氧化物层上形成所述透明保护层，在所述表面侧金属氧化物层形成工序中，在直流溅射法中使用的溅射靶是含有锌原子和锡原子、并将氧化锌和氧化锡中的至少一种金属氧化物与金属粉末烧结而得到的靶，向溅射制膜室内导入非活性气体和氧气，向溅射制膜室导入的气体中的氧浓度为8体积％以下。