发明名称 |
清洗装置 |
摘要 |
本发明提供了一种清洗装置,用于清洗基板,所述清洗装置包括传送装置、喷淋装置及止挡装置,所述传送装置用于传送所述基板,所述喷淋装置设置于所述传送装置上方,用于喷水以清洗所述基板,所述止挡装置包括止挡件、风刀及连接于所述风刀的进气管,所述止挡件设置于所述基板上方,所述风刀设置于所述止挡件朝向所述传送装置一侧,所述进气管连接于外部气源以向所述风刀供气,所述风刀用于喷射气体以去除形成于所述止挡件内侧的水滴。本发明的清洗装置通过设置喷淋装置对基板进行清洗,并设置止挡件防止水流喷溅,并进一步设置风刀去除凝结所述止挡件内侧的水滴,防止水滴滴落至所述基板之上。 |
申请公布号 |
CN104550157B |
申请公布日期 |
2016.08.17 |
申请号 |
CN201410819928.2 |
申请日期 |
2014.12.24 |
申请人 |
深圳市华星光电技术有限公司 |
发明人 |
李嘉 |
分类号 |
B08B11/00(2006.01)I;B08B3/02(2006.01)I;F26B21/00(2006.01)I |
主分类号 |
B08B11/00(2006.01)I |
代理机构 |
广州三环专利代理有限公司 44202 |
代理人 |
郝传鑫;熊永强 |
主权项 |
一种清洗装置,用于清洗基板,其特征在于,所述清洗装置包括传送装置、喷淋装置、止挡装置、感测装置及连接于所述感测装置的控制阀,所述传送装置用于传送所述基板,所述喷淋装置设置于所述传送装置上方,用于喷水以清洗所述基板,所述止挡装置包括止挡件、风刀及连接于所述风刀的进气管,所述止挡件设置于所述基板上方,所述风刀设置于所述止挡件朝向所述传送装置一侧,所述进气管连接于外部气源以向所述风刀供气,所述风刀用于喷射气体以去除形成于所述止挡件内侧的水滴,所述感测装置包括第一传感器及第二传感器,所述第一传感器与第二传感器沿所述传送装置的传送方向依次设置,当所述基板经过所述第一传感器时,所述第一传感器控制所述控制阀关闭,从而控制所述风刀停止喷气;当所述基板经过并离开所述第二传感器时,所述第二传感器控制所述控制阀开启,从而开启风刀以去除形成于所述止挡件内侧的水滴。 |
地址 |
518132 广东省深圳市光明新区塘明大道9-2号 |