将制绒与清洗分步进行的晶硅太阳能电池湿化学处理方法

摘要

本发明公开了一种将制绒与清洗分步进行的晶硅太阳能电池湿化学处理方法，该方法的步骤如下：（1）提供一经过前处理后的硅片；（2）采用第一清洗液对硅片进行预清洗，以去除硅片表面颗粒杂质和污染；（3）采用抛光腐蚀液对硅片进行抛光处理，腐蚀掉表面的机械损伤层；（4）采用制绒液对硅片进行制绒处理，使其表面形成绒面结构；（5）采用第二清洗液对硅片进行清洗，以去除表面金属离子，并中和碱性杂质，减少表面化学残留；（6）采用氧化腐蚀液对硅片进行处理，以去除氧化层，并在其表面形成疏水干燥结构。本发明制绒后硅片可以长时间存放，并且其表面洁净度和减反射效果达到了较高的水平，大大减少了生产时间，提高了生产效率。

主权项

一种将制绒与清洗分步进行的晶硅太阳能电池湿化学处理方法，其特征在于该方法的步骤如下：(1)提供一经过前处理后的硅片；(2)采用第一清洗液对硅片进行预清洗，以去除硅片表面颗粒杂质和污染；(3)采用抛光腐蚀液对硅片进行抛光处理，腐蚀掉表面的机械损伤层；(4)采用制绒液对硅片进行制绒处理，使其表面形成绒面结构；(5)采用第二清洗液对硅片进行清洗，以去除表面金属离子，并中和碱性杂质，减少表面化学残留；(6)采用氧化腐蚀液对硅片进行处理，以去除氧化层，并在其表面形成疏水干燥结构；(7)对硅片表面进行反复的氧化‑腐蚀处理；在所述的步骤(7)中，在HF和HNO₃的混合溶液中对硅片表面进行反复的氧化‑腐蚀处理；并且其中，HF和HNO₃的体积比为1：(50～100)；所述的步骤(7)具体为：将硅片置于HF和HNO₃的混合溶液中反应0.5～2min，溶液中增加鼓泡或超声处理；然后用纯水进行冲洗处理；(8)采用第三清洗液对硅片进行清洗，以去除表面颗粒杂质，进行化学中和；在所述的步骤(8)中，所述的第三清洗液为SC1混合清洗液，该SC1混合清洗液为NH₄OH、H₂O₂和H₂O的混合溶液；并且其中，NH₄OH、H₂O₂和H₂O的体积比为：1：(0.5～5)：(10～15)；所述的步骤(8)具体为：将硅片放入温度为60～80℃的第三清洗液中反应1～10min；然后用纯水进行冲洗处理；(9)最后采用第四清洗液对硅片进行清洗，以去除氧化层及表面金属离子，同时形成钝化的疏水表面，完成晶硅太阳能电池湿化学处理；在所述的步骤(9)中，所述的第四清洗液为氢氟酸和盐酸的混合溶液；并且其中，氢氟酸的质量百分浓度为0.5％～5％，盐酸的质量百分浓度为0.5％～5％；所述的步骤(9)具体为：将硅片置于第四清洗液中处理1～10min，去除氧化层及表面金属离子，并对硅片表面进行钝化，形成疏水表面；然后用纯水进行冲洗处理。