锂金属上的固态电解质及阻挡层及其方法

摘要

制造包含锂金属电极的电化学装置的方法可包含：提供基板，在所述基板表面上具有锂金属电极；沉积第一电介质材料层至锂金属电极上，且沉积第一电介质材料层是在氩环境中溅射Li₃PO₄；在沉积第一电介质材料层后，在第一电介质材料层上方诱发及维持氮等离子体，以提供离子轰击第一电介质材料层而将氮并入所述第一电介质材料层内；及在沉积、诱发及维持后，沉积第二电介质材料层至经离子轰击的第一电介质材料层上，且沉积第二电介质材料层是在含氮环境中溅射Li₃PO₄。电化学装置可包含在锂金属电极与LiPON电解质之间的阻挡层。本文也描述配置为制造包含锂金属电极的电化学装置的工具。

主权项

一种制造电化学装置的方法，所述电化学装置包含锂金属电极，所述方法包含下列步骤：提供基板，在所述基板的表面上具有锂金属电极；沉积第一电介质材料层至所述锂金属电极上，所述沉积所述第一电介质材料层是在氩环境中溅射Li₃PO₄；在所述沉积所述第一电介质材料层之后，在所述第一电介质材料层上方诱发及维持氮等离子体，以提供离子轰击所述第一电介质材料层而将氮并入所述第一电介质材料层内；及在所述沉积、所述诱发及所述维持之后，沉积第二电介质材料层至所述经离子轰击的第一电介质材料层上，所述沉积所述第二电介质材料层是在含氮环境中溅射Li₃PO₄。