一种多晶硅铸锭用硅夹层氮化硅涂层的制备方法

摘要

本发明涉及一种多晶硅铸锭用硅夹层氮化硅涂层的制备方法，其制备方法如下：（1）将氮化硅粉体、硅溶胶和超纯水混合均匀得到乳浆状氮化硅溶液；（2）将硅粉、硅溶胶和超纯水混合均匀得到乳浆状硅溶液；（3）在坩埚底部和内壁均匀地喷涂步骤（1）得到的氮化硅溶液，烘干后在坩埚底部刷涂步骤（2）得到的硅溶液，再次烘干后在坩埚底部和内壁二次喷涂步骤（1）得到的氮化硅溶液的剩余部分。本发明在氮化硅涂层中设计硅夹层，硅夹层可与坩埚底部扩散进入的杂质氧反应，避免氧扩散到硅锭中，有效减小硅锭底部杂质区域的宽度，从而减小硅锭开方时底部切除宽度，减少了资源的浪费，节约生产成本，适合多晶硅铸锭工业规模化应用。

主权项

一种多晶硅铸锭用硅夹层氮化硅涂层的制备方法，其特征是：所述的方法包括以下步骤：（1）将氮化硅粉体、硅溶胶和超纯水混合均匀得到乳浆状氮化硅溶液，其中：所述氮化硅粉体、硅溶胶和超纯水的质量比为1: (0.3~0.6) : (2~4)；所述氮化硅粉体的用量为800~1000g/G6坩埚之间；（2）将硅粉、硅溶胶和超纯水混合均匀得到乳浆状硅溶液，其中：所述硅粉、硅溶胶和超纯水的质量比为1: (0.3~0.6) : (2~4)；所述硅粉的用量为步骤（1）所述氮化硅粉体用量的1%~10%；（3）在坩埚底部和内壁均匀地喷涂步骤（1）得到的氮化硅溶液，烘干后在坩埚底部刷涂步骤（2）得到的硅溶液，再次烘干后在坩埚底部和内壁二次喷涂步骤（1）得到的氮化硅溶液的剩余部分，所述喷涂温度为55~100℃。