一种位移测量校正装置和方法

摘要

本发明公开了一种位移测量校正装置和方法，属于测量技术领域。本发明通过光栅位移传感器进行位移测量，并通过电控单元将第一位移信息传送给校正单元，校正单元根据所述第一位移信息获得误差补偿信息，并将误差补偿信息传送给数据处理单元处理，进而实现对于第二位移信息的智能校正，进而达到了保证高精度、高分辨率的同时有效降低光栅位移传感器制造和使用成本的技术效果。

主权项

一种位移测量校正装置，其特征在于，所述装置包括：光栅位移传感器，所述光栅位移传感器用于进行位移测量；电控单元，所述电控单元用于获得所述光栅位移传感器所测量的第一位移信息；校正单元，所述校正单元用于获得所述第一位移信息，并根据所述第一位移信息获得误差补偿信息；数据处理单元，所述数据处理单元用于获得来自光栅位移传感器的第二位移信息和所述误差补偿信息，并根据所述第二位移信息和所述误差补偿信息实现对所述第二位移信息的校正。