发明名称 | 一种防静电曝光机系统及其制造方法 | ||
摘要 | 本发明公开了一种防静电曝光机系统,其在曝光机上下框使用具备导电能力的麦拉膜,机身设计了导电通道可以将产生的静电通过通道接地释放,避免曝光过程中曝光台面、麦拉膜与菲林之间摩擦产生静电,杜绝静电吸附灰尘导致开短路及静电导致抽真空不良的问题。 | ||
申请公布号 | CN105867073A | 申请公布日期 | 2016.08.17 |
申请号 | CN201610386293.0 | 申请日期 | 2016.06.04 |
申请人 | 深圳市柯士达光电有限公司 | 发明人 | 何忠亮;朱争鸣;叶文 |
分类号 | G03F7/20(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I |
代理机构 | 代理人 | ||
主权项 | 一种防静电曝光机系统,其特征为曝光玻璃面、上下麦拉、曝光菲林、菲林保护膜、涂覆感光材料的PCB板及其感光材料保护膜,其中,在曝光过程中会因摩擦、接触产生静电的界面(曝光玻璃、麦拉、菲林、保护膜等)材料,至少有一面使用导电性的材料或涂层,导电材料和涂层均有接地通路。 | ||
地址 | 518125 广东省深圳市宝安区沙井新桥新发工业区三排七栋 |