发明名称 一种防静电曝光机系统及其制造方法
摘要 本发明公开了一种防静电曝光机系统,其在曝光机上下框使用具备导电能力的麦拉膜,机身设计了导电通道可以将产生的静电通过通道接地释放,避免曝光过程中曝光台面、麦拉膜与菲林之间摩擦产生静电,杜绝静电吸附灰尘导致开短路及静电导致抽真空不良的问题。
申请公布号 CN105867073A 申请公布日期 2016.08.17
申请号 CN201610386293.0 申请日期 2016.06.04
申请人 深圳市柯士达光电有限公司 发明人 何忠亮;朱争鸣;叶文
分类号 G03F7/20(2006.01)I 主分类号 G03F7/20(2006.01)I
代理机构 代理人
主权项 一种防静电曝光机系统,其特征为曝光玻璃面、上下麦拉、曝光菲林、菲林保护膜、涂覆感光材料的PCB板及其感光材料保护膜,其中,在曝光过程中会因摩擦、接触产生静电的界面(曝光玻璃、麦拉、菲林、保护膜等)材料,至少有一面使用导电性的材料或涂层,导电材料和涂层均有接地通路。
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