包含窗口层和导光结构的半导体发光器件

摘要

一种器件包含半导体结构，该半导体结构包含布置在n型区域（44，49）和p型区域（46）之间的发光层（48）。该半导体结构布置在窗口层（40）和导光结构（44）之间。该导光结构配置成将光引导朝向窗口层；合适的导光结构的实例包含多孔半导体层和光子晶体。n接触（58，64）电学连接到n型区域且p接触（60，62）电学连接到p型区域。该p接触布置于在该半导体结构中形成的开口（54）中。

主权项

一种制作半导体发光器件的方法，该方法包含：在生长衬底上生长包含布置在n型区域和p型区域之间的发光层的半导体结构；在p型区域之上布置透明导电氧化物；经由透明导电氧化物将半导体结构结合到窗口层；移除生长衬底；使通过移除生长衬底所暴露的n型区域的部分为多孔的；蚀刻暴露透明导电氧化物的半导体结构中的开口；以及在开口中形成金属接触。